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plasma等離子體清洗機電離不穩定，等離子體發生器阻抗匹配不良。假設反應腔和反應腔(以下簡稱負載)阻抗和傳輸線的特性阻抗不相等，在傳輸過程中會發生反射，有部分能量通過發熱等方式損失，而不是所有能量都被plasma等離子體吸收，因此會直接影響等離子表面處理的效果。
在高頻放電回路中，傳統的方法是在高頻放電回路與等離子腔、電極之間設置阻抗匹配網絡，依據不同的電離條件開始調節，使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗相匹配，使等離子體電離穩定，工作效率高。
幾個主要因素影響等離子清洗機匹配效果。
與等離子發生器的配對類似，等離子清洗機的匹配器，兩者必須相互匹配，不能用小功率匹配器來適應高功率等離子發生器。此外，為了獲得理想的等離子清洗機匹配效果，還須要注意以下幾點。
1.在設計plasma等離子體清洗機的反應腔和電極時，應與匹配器供應商充分溝通，以滿足等離子體清洗機的匹配要求；
2.plasma等離子清洗機組裝匹配器時，應盡可能接近反應室和電極，以縮短連接，降低功耗；
3.氣流、真空度、產品材料和處理量等因素都會影響阻抗匹配，須要依據具體情況開始調整。
以上三點就是plasma等離子清洗機中影響放電的匹配器的詳細介紹。
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