大氣壓等離子體處理機(jī)說(shuō)的是是可以在大氣壓或特定氣壓下激發(fā)氣體電離并產(chǎn)生特定輝光等離子體的設(shè)備，也稱為氣壓等離子體處理機(jī)和準(zhǔn)輝光等離子體處理機(jī)。與絲狀放電相比，準(zhǔn)輝光放電等離子體更加穩(wěn)定均勻，更適合大面積材料或產(chǎn)品的表面處理。

       大氣壓等離子體處理機(jī)形成準(zhǔn)輝光放電，必須達(dá)到小的初始電子密度。如果要電離的電子密度足夠大，就會(huì)產(chǎn)生大面積的準(zhǔn)輝光，使得開(kāi)始的崩塌頭相互重疊合并，同時(shí)減少切向空間電荷的電場(chǎng)梯度。
       氣體電離的強(qiáng)度受氣體純度、氣體附著、剩余氣體亞穩(wěn)態(tài)、電子、離子等因素的影響。使用介質(zhì)阻擋放電時(shí)，除介質(zhì)表面的記憶電荷外，還可利用半個(gè)周期內(nèi)的剩余粒子，利用合適的放電頻率也能對(duì)整個(gè)放電體積產(chǎn)生記憶效應(yīng)。
       另外，特殊介質(zhì)對(duì)大面積均勻等離子體也有利。電介質(zhì)表面可以積累相當(dāng)數(shù)量的電荷。在高電壓下，這些電荷可以均勻地束縛在介質(zhì)表面。當(dāng)電場(chǎng)改變極性并超過(guò)一定閾值時(shí)，電荷也被排斥離開(kāi)表面，點(diǎn)燃高電流密度阻擋放電。在這種高電流條件下，每半個(gè)波形的單個(gè)電流峰只持續(xù)幾秒鐘；在正常的輝光放電條件下，氦放電3微秒，氮放電200微秒。
大氣壓等離子體處理機(jī)中電子的平均能量。
       應(yīng)用等離子體化學(xué)時(shí)，電子常常需要較高的能量，電子能量較低，僅依據(jù)激振來(lái)輸入交流電源，是不能進(jìn)行反應(yīng)，必須要達(dá)到反應(yīng)條件。因此，提高高能電子在放電空問(wèn)中的分布對(duì)于獲得有效的等離子體反應(yīng)速率很重要。

       根據(jù)研究，一般等離子體中的電子平均能量在1-10ev之間，高于10ev對(duì)離解和電離氣分子的影響更好，而電子能量的大小常見(jiàn)與放電條件密切相關(guān)，如電極結(jié)構(gòu)、功率和頻率。
大氣壓等離子清洗機(jī)中的電離輻射。
       當(dāng)?shù)入x子體發(fā)射時(shí)，電磁波將產(chǎn)生電離輻射。氣體放電產(chǎn)生的等離子體常見(jiàn)伴有發(fā)光，其顏色與反應(yīng)氣體的種類有關(guān)。除發(fā)射可見(jiàn)光外，還會(huì)產(chǎn)生紫外線和X射線本質(zhì)上是電磁波。等離子體電離輻射的主要是源于是等離子體中顆粒運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的變化，尤其是電子體。除了束縛電子，還有自由電子可以連續(xù)改變動(dòng)能。當(dāng)其與其他粒子碰撞或受到其他外場(chǎng)影響時(shí)，它會(huì)改變運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，并隨著能量狀態(tài)的變化而發(fā)生跳躍電離輻射。
        在大氣壓等離子體處理機(jī)中，對(duì)等離子體電離輻射的研究很重要。一方面，大氣壓等離子體處理機(jī)電離輻射會(huì)釋放能量，造成等離子體能量損失；同時(shí)，一些氣體電離輻射也會(huì)激發(fā)光電離，從而有效激發(fā)反應(yīng)系統(tǒng)；另一方面，等離子體電離輻射攜帶大量等離子體內(nèi)部信息。依據(jù)對(duì)電離輻射頻率和強(qiáng)度的研究或時(shí)間分析，可以診斷等離子體的密度、溫度和粒子狀態(tài)，獲取反應(yīng)過(guò)程的相關(guān)信息。
       大氣壓等離子體處理機(jī)中，等離子體常見(jiàn)有3個(gè)主要是的電離輻射過(guò)程，即刺激電離輻射、復(fù)合電離輻射和源電離輻射，而在大氣壓等離子體處理機(jī)中，等離子體的電子溫度僅為1~10eV，因此，對(duì)電離輻射和復(fù)合電離輻射起著主要是的刺激作用。
       當(dāng)被激發(fā)狀態(tài)的粒子轉(zhuǎn)移到被激原子的低激發(fā)狀態(tài)或基體狀態(tài)時(shí)，激發(fā)電離輻射是電離輻射。在輻射躍遷前后，電子激發(fā)電離輻射處于束縛狀態(tài)，其電離輻射激發(fā)頻率由兩能之間的能量差決定。復(fù)合型離子化輻射是指自由電子被離子捕獲后，合成低價(jià)格離子或中性離子發(fā)出電磁波的過(guò)程。電子在復(fù)合輻射躍遷過(guò)程中從自由狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)槭`狀態(tài)。
        電離輻射是指等離子體中的帶電顆粒在其它顆粒靜電勢(shì)場(chǎng)的作用下發(fā)生速度變化時(shí)，由動(dòng)能變化引起的電磁輻射。在等離子體處理機(jī)中，電子速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于離子速度，因此韌性電離輻射主要是由電子產(chǎn)生。由于離子電場(chǎng)的作用，自由電子靠近正離子時(shí)，電子的慣性運(yùn)動(dòng)被阻滯，從而產(chǎn)生電磁輻射，能量損失。在這個(gè)過(guò)程中，電子電離輻射后仍然是自由的，只是動(dòng)能減少。
         從微觀下看大氣壓等離子體處理機(jī)電離輻射產(chǎn)生輝光放電，從而形成等離子體。